تفاصيل المنتج
مكان المنشأ: صنع في الصين
اسم العلامة التجارية: Dayoo
شروط الدفع والشحن
الحد الأدنى لكمية: قابل للتفاوض
الأسعار: قابل للتفاوض
وقت التسليم: قابل للتفاوض
شروط الدفع: قابل للتفاوض
نقاء: |
96 ٪ ، 99 ٪ |
مواد: |
92 ٪ مسحوق الألومينا |
مقاس: |
مخصصة |
الانتهاء من السطح: |
مصقول |
شكل: |
قابل للتخصيص |
ملكيات: |
العزل الكهربائي |
يكتب: |
كرة سيراميك |
طلب: |
السيراميك الصناعي |
معامل التمدد الحراري: |
8 × 10^-6 /ك |
قوة الشد: |
250 ميجا باسكال |
أقصى درجة حرارة التشغيل: |
1800 درجة مئوية |
محتوى الألومينا: |
92 ٪ و 95 ٪ |
قوة الانثناء: |
350 ميجا باسكال |
أقصى درجة حرارة الاستخدام: |
1400 درجة مئوية |
Water Absorption: |
0 |
نقاء: |
96 ٪ ، 99 ٪ |
مواد: |
92 ٪ مسحوق الألومينا |
مقاس: |
مخصصة |
الانتهاء من السطح: |
مصقول |
شكل: |
قابل للتخصيص |
ملكيات: |
العزل الكهربائي |
يكتب: |
كرة سيراميك |
طلب: |
السيراميك الصناعي |
معامل التمدد الحراري: |
8 × 10^-6 /ك |
قوة الشد: |
250 ميجا باسكال |
أقصى درجة حرارة التشغيل: |
1800 درجة مئوية |
محتوى الألومينا: |
92 ٪ و 95 ٪ |
قوة الانثناء: |
350 ميجا باسكال |
أقصى درجة حرارة الاستخدام: |
1400 درجة مئوية |
Water Absorption: |
0 |
سيراميك ألومينا عالي النقاء بمقاومة حجمية تبلغ 10^4 أوم*سم لتطبيقات أشباه الموصلات
يتم تصنيع هذه السلسلة من مكونات السيراميك المصنوعة من الألومينا والمخصصة لأشباه الموصلات باستخدام مادة Al₂O₃ فائقة النقاء بنسبة 99.6% من خلال الصب الدقيق بالشريط وعمليات التلبيد ذات درجة الحرارة العالية. تُظهر المنتجات عزلًا ممتازًا ومقاومة للتآكل وثباتًا في الأبعاد، وتفي بمتطلبات النظافة القياسية SEMI F47.
تصنيع الرقائق: أجزاء السيراميك لآلة النقش، قوارب الانتشار
التعبئة والاختبار: ركائز بطاقة التحقيق، مقابس الاختبار
مكونات المعدات: مؤثرات نهاية الروبوت
أنظمة التفريغ: قواعد المثقاب الكهروستاتيكي
الفحص البصري: أدلة السيراميك لآلة الطباعة الحجرية
✓ نظيف للغاية: محتوى أيون المعدن <0.1 جزء في المليون✓ أبعاد دقيقة: تفاوت ±0.05 مم/100 مم✓ مقاومة البلازما: معدل النقش <0.1 ميكرومتر/ساعة
✓ انخفاض إطلاق الغازات: TML <0.1% CVCM <0.01%✓ موثوقية عالية: يجتاز 1000 دورة حرارية
المواصفات الفنيةالمعلمةالمواصفاتمعيار الاختبار
| Al₂O₃ ≥99.6% | GDMS | المقاومة الحجمية |
|---|---|---|
| >10⁴Ω·سم | ASTM D257 | ثابت العزل الكهربائي |
| 9.8@1 ميجاهرتز | IEC 60250 | قوة الانحناء |
| ≥400 ميجا باسكال | ISO 14704 | CTE |
| 7.2×10⁻⁶/°C | DIN 51045 | خشونة السطح |
| Ra≤0.1 ميكرومتر | ISO 4287 | إطلاق الغازات |
| TML | <0.1% | ASTM E595 |
| عملية تصنيع أشباه الموصلات | تحضير المواد:مسحوق Al₂O₃ بدرجة النانو (D50≤0.5 ميكرومتر) | طحن كروي عالي النقاء (إضافات تلبيد Y₂O₃-MgO) |
الصب بالشريط (سمك 0.1-5 مم)
الضغط المتساوي (200 ميجا باسكال)
التحكم في التلبيد:
التلبيد متعدد المراحل في الغلاف الجوي (1600 درجة مئوية/H₂)
معالجة HIP اللاحقة (1500 درجة مئوية/150 ميجا باسكال)
التصنيع الدقيق:
المعالجة بالليزر (±5 ميكرومتر)
الحفر بالموجات فوق الصوتية (نسبة العرض إلى الارتفاع 10:1)
التنظيف والفحص:
التنظيف بالميجاسونيك (غرفة نظيفة من الفئة 1)
اختبار الجسيمات SEMI F47
إرشادات الاستخدام
⚠ التخزين: عبوة نظيفة من الفئة 100
⚠ بيئة التركيب: 23±1 درجة مئوية RH45±5%
⚠ التنظيف: مذيبات من درجة أشباه الموصلات فقط
خدمات أشباه الموصلات
التحقق من النظافة: تقارير اختبار VDA19
تحليل الأعطال: تحليل مجهري SEM/EDS
التطوير المخصص: التصميم المشترك DFM
س: كيف تضمن نظافة سطح تلامس الرقاقة؟
ج: حماية ثلاثية:
① تنشيط سطح البلازما
③ التنظيف بالهواء المؤين قبل التركيب
س: الأداء في البلازما القائمة على الفلور؟
ج: نسخة معالجة خاصة:
• معدل النقش <0.05 ميكرومتر/ساعة
• طبقة سلبية AlF₃
• عمر أطول 3 مرات
س: الحد الأقصى للحجم القابل للمعالجة؟
ج: قياسي 200×200 مم، عملية خاصة تصل إلى 400×400 مم.
